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1、 送入新風的潔凈度
在送入新風潔凈度方面,關鍵因素是凈化系統過濾器的性能和安裝。凈化系統的末端過濾器一般都是采用高效過濾器,選擇好過濾器還要全面考慮潔凈室的特性、過濾器特性和凈化系統特性。要保證送風潔凈度,還要保證運輸安裝過程中不損壞過濾器,確保安裝的嚴密性。
2、 氣流組織
無塵車間的氣流組織作用在于限制和減少對加工物件的污染,在設計氣流組織時應考慮以下幾個原則:
(1) 減少渦流,避免將工作區以外的污染物帶入工作區。
(2) 盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會。
(3) 工作區氣流要均勻,風速要滿足工藝和衛生要求,當氣流向回風口流動時能把空氣中的灰塵能有效的帶走。
3、 靜壓差
無塵車間維持靜壓差是保證其不受或少受污染,即使是負壓無塵室也必須有不低于它潔凈度級別相鄰房間或套間維持一定的正壓,負壓無塵室的潔凈度才能得以維持。不同等級的潔凈室以及潔凈區和非潔凈區之間的靜壓應不小于5Pa,潔凈區與室外的靜壓差應不小于10Pa。
4、 送風量、風速
足夠的通風換氣量能稀釋和排除室內污染空氣。潔凈度不同,換氣次數不同,100萬級無塵室的通風量按照中效凈化系統考慮,其余均按高效凈化系統考慮。當10萬級無塵室過濾器集中布置在機房或末端采用亞高效過濾器時,提高換氣次數。